|
|
 |
|
|
|
|
|
 |
 |
|
|
|
|
Modèle |
C50S |
C50T |
C22T |
|
Matériau chambre |
Inox 316L |
Inox 316L |
Quartz |
|
Dim. utile chambre |
 400 |
300 |
200, 150, 90 |
|
|
L 550-900 |
L 750 |
L 500, 200, 200 |
|
Valeur du vide |
x 10-3 |
x 10-3 |
x 10-3 |
|
Système refroidissement |
LN2 |
LN2 |
Refroidisseur mécanique |
|
Tension électrique |
400 V 50 Hz |
400 V 50 Hz |
400 V 50 Hz |
|
|
3ph + N + PE |
3ph + N + PE |
3ph + N + P |
|
Courant |
3 x 12 Amp. |
3 x 12 Amp. |
3 x 12 Amp. |
|
|
|
|
|
|
Puissance |
9 KW |
9 KW |
9 KW |
|
Tension de contrôle |
230 VAC |
230 VAC |
230 VAC |
|
Commande électrique |
24 VDC |
24 VDC |
24 VD |
|
Encombrement extérieur |
2500 x 1100 |
3000 x 1200 |
2400 x 1020 |
|
|
h 1500 |
h 1500 |
h 1400 |
|
Poids |
400 Kg |
420 Kg |
360 Kg |
|
|
|
|
|
|
Options : |
- Refroidisseur mécanique
- Extension
- Enregistreur |
- Contrôle des paramètres de déposition directement au PC |
- Chambre sur mesure,
selon cahier des charges |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
  |
|
 |
 |
|
