modèle c25s

Utilisation et maintenance très simples

Idéale pour les tests de laboratoires, les prototypes ou les petites séries

Convient parfaitement au traitement de wafers jusqu’à un diamètre de 150 mm

Traitement automatique et optimisé de parylènes type C, N, D, AF4 , VT4

Possibilité de l’installer en salle blanche

Options disponibles : température contrôlée de la chambre, activation par plasma, prétraitement silane etc…
Encombrement:
L x P x H 1600 x 1100 x 1750 mm
Chambre: ∅ 250 x H 270 mm Outillage: ∅ 220 x H 235 mm Tension d'alimentation:
400 VAC 3 ph + N + PE 50Hz
Fréquence / puissance: 50 Hz / 3,5 kW Capacité charge dimère: 30 g Volume pompage: 25 m3/h Poids: 200 kg
C25S comelec

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